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　　微電子器件(簡稱：微器件)“潛伏”在人們?nèi)粘Ｉ钪校热缫徊科胀ㄊ謾C的CPU(中央處理器)里有多達百億個晶體管(微器件的一種)。據(jù)來自中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所的消息，該所的王建祿研究員等人，通過新型制備方法，能按需定制微器件，有望加速未來的新型半導(dǎo)體材料的應(yīng)用。相關(guān)成果于北京時間25日在線發(fā)表于國際期刊NatureElectronics(《自然·電子學(xué)》)。

　　王建祿研究員在上海接受媒體采訪時介紹，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體微器件工藝過程十分繁瑣復(fù)雜，例如，要通過幾百道甚至上千道的工藝，才能獲得常用的計算機芯片，研究團隊探索的是：如何以簡單的工藝，按需定制微器件。

　　可以這么描述他們的制備方法：用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這里的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖?！爱嫴肌眲t是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。

　　“這層具有極性的鐵電薄膜就像一張納米厚度的神奇畫布，運用納米畫筆可以在畫布上任意作畫，畫作就是各類微器件，還可以反復(fù)擦寫畫布，這種方法給制備微器件提供了豐富的想象力?！蓖踅ǖ撊缡钦f。

　　王建祿同時也指出，這種制備方法適用于幾乎所有的半導(dǎo)體薄膜材料，但由于傳統(tǒng)材料的制備工藝已相對成熟，新方法更適合用于未來新型低維半導(dǎo)體材料的應(yīng)用上。

　　據(jù)悉，這項研究由中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所與復(fù)旦大學(xué)、華東師范大學(xué)、南京大學(xué)、中國科學(xué)院微電子所等多個課題組合作完成。