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中科科儀的員工在操作儀器。受訪者供圖“做無差錯能手，向零缺陷邁進”“工藝巧于微末之處，精品出于毫厘之間”。走進北京中科科儀股份有限公司（以下簡稱中科科儀），類似標語不斷出現(xiàn)在樓梯臺階上、走廊轉角處和車間操作區(qū)里，它們都是員工們集思廣益想出來的。在這里，工匠精神不是口號，而是大家的行動準則。多年來，中科科儀深耕真空技術，憑借自主研發(fā)的分子泵系列產品，成長為國家級制造業(yè)單項冠軍示范企業(yè)，打破國外產品壟斷。日前，中科科儀重大裝備核心零部件產業(yè)化團隊榮獲中國科學院第六屆“科苑名匠”稱號。“必須把核心技術掌握在自己手里”雖然我們日常生活中不會直接接觸真空，但從食品保鮮、手機鍍膜再到半導體精密制造、航天儀器檢測，卻處處離不開真空。尤其是在半導體與集成電路制造產業(yè)，在芯片制造的刻蝕、薄膜沉積、離子注入等工藝中，真空環(huán)境和潔凈度直接決定了芯片的良率和性能。分子泵是獲得真空環(huán)境的通用儀器，它利用高速旋轉的轉子使氣體分子獲得定向速度，從而被壓縮、抽走，可將空間內空氣密度降低到10-6帕。不過，傳統(tǒng)分子泵技術多采用機械結構，普遍存在轉速較低、磨損、振動、噪聲大等缺點。更先進的磁懸浮分子泵則通過無接觸支撐轉子使各方面性能大幅提高，是芯片制造的必備利器。然而，起源于西方的磁懸浮分子泵，其核心技術自然也被西方壟斷。中科科儀黨委委員、總經理助理王利偉告訴《中國科學報》，20世紀初，引進一臺磁懸浮分子泵的費用高達40萬元，在軍工等關鍵領域，國外甚至明確拒絕向中國出售，技術壁壘之高可見一斑。為打破國外壟斷，作為科技“國家隊”的一員，中科科儀早在2004年就開始探討并籌備磁懸浮分子泵的自主研發(fā)。但磁懸浮分子泵的運行原理與傳統(tǒng)機械式完全不同，它很大程度上依賴傳感器和電控系統(tǒng)，將轉子穩(wěn)定地“懸”于中心。這對團隊而言，是一個前所未有的挑戰(zhàn)。直到2009年，為提高集成電路產業(yè)核心競爭力，國家重大科技專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”全面實施。中科科儀承擔了其中的“磁浮分子泵系列產品開發(fā)與產業(yè)化”項目。在國家支持下，磁懸浮分子泵的研發(fā)終于得以從構想走向實踐。由于遭到嚴格的技術封鎖，中科科儀的研發(fā)人員只能從國外文獻、發(fā)明專利、宣傳資料等文字資料中摸索方向，一點一滴規(guī)劃屬于自己的技術路徑。最初樣機問世時，連基本功能都難以穩(wěn)定運行，參數(shù)調試、性能優(yōu)化幾乎從零開始?！斑B識別指示燈都亮不起來。”研發(fā)中心總體設計工程師李兵回憶道。為解決傳感器精度問題，讓設備能識別微米級位移，那段時間他們“日日想，日日趕”，只為了“一個數(shù)據(jù)的突破”。就在中科科儀團隊鉚足干勁全力攻關時，國外企業(yè)也關注到了中國的進展，并悄然施壓。2009年正式投入研發(fā)時，曾經高不可攀的進口產品價格驟降到約20萬元；到2011年首臺國產磁懸浮分子泵產品亮相國家“十一五”重大科技成果展時，進口產品已降價至約10萬元……回憶那3年的變化，李兵坦言中途差點放棄。“國外產品降價，意味著我們的產品進入市場時已無利潤空間，還要不要繼續(xù)研發(fā)？”是被打趴下，還是咬緊牙關扛過去？“我們最終還是下定決心，必須把核心技術掌握在自己手里?！彼f，“我們必須建立自己的全鏈產業(yè)?！弊罱K，研發(fā)團隊通過不斷地技術升級，推出具有市場競爭力的產品，成功打破國外壟斷。如今回頭看，國產磁懸浮分子泵的攻關進程，正巧與中國半導體產業(yè)的整體提速同頻共振，助力了我國半導體產業(yè)高質量發(fā)展。目前，國產工業(yè)級產品已穩(wěn)定在幾萬元，僅為當年最高價的1/10。工匠精神代代傳中科科儀的前身是成立于1958年的中國科學院科學儀器廠。60多年來，他們一直奉行“嚴師出高徒”的人才培養(yǎng)模式。在李兵心中，師父鄒蒙不僅是帶領大家研發(fā)磁懸浮分子泵的開創(chuàng)者，更是一位要求嚴格的導師。他回憶道，清華大學畢業(yè)的鄒蒙保持了嚴謹?shù)膶嶒灹晳T?！八膶嶒炇指宀粌H記錄詳盡，而且條理清晰。哪怕過很多年后再翻出來看，也能完全還原當時的實驗過程?！?024年退休后，鄒蒙仍難改幾十年的習慣，十分關心項目攻關。就在不久前，兩人還坐在一起暢聊新產品的調試進展。在李兵看來，師父留給自己最重要的精神財富就是永葆創(chuàng)新精神。2014年前后，中科科儀在國內率先提出將特殊材料應用于磁懸浮分子泵的構想。為驗證最優(yōu)方案，團隊先后嘗試了五六種替代材料，但無論在強度、重量還是穩(wěn)定性方面，始終無法滿足要求。最終他們成功使用最優(yōu)特殊材料，有效降低了轉子重量，整體強度達到早期產品的3倍。“工匠精神不單單是簡單地重復試驗、機械操作，尤其是在科技快速發(fā)展的今天，必須持續(xù)學習、不斷創(chuàng)新，才能真正把一件事做到極致?！崩畋f。10年前，在高端半導體設備市場中，尤其是在分子泵這類關鍵核心環(huán)節(jié)，國內幾乎完全依賴進口。為了不再被“卡脖子”，讓磁懸浮分子泵更好地適應半導體制造過程中復雜多變的工藝環(huán)境，中科科儀團隊對泵體內部結構進行了精細化設計，并增加了加熱系統(tǒng)，以防止反應物在腔體內快速沉積和腐蝕，從而保障整個真空系統(tǒng)的潔凈度與運行效率。十余年的堅持，換來了厚積薄發(fā)的突破。2022年，中科科儀的半導體專用磁懸浮分子泵實現(xiàn)產業(yè)化落地，成功打破國外壟斷，迅速滿足了刻蝕、離子注入等工藝的核心需求。在團隊成員伏世帥看來，工匠精神不僅依賴于系統(tǒng)的培訓，更是一種“心法”的傳承。伏世帥研究生畢業(yè)后進入中科科儀，師父一句“不懂產品，咋做技術”，就把他安排到全流程中最枯燥、最考驗耐心的調平衡工藝環(huán)節(jié)。由于分子泵轉子的轉速高達每分鐘幾萬轉，哪怕是一微米的偏差，也可能導致整體結構在高速運轉中失效。調平衡的核心在于通過配重調整轉子的平衡精度。這項工作目前還無法完全依賴機器完成，靠的是操作者豐富的經驗和敏銳的手感。即便是最熟練的老師傅，也得有十足的耐心。就這樣在車間調了半年，伏世帥才真正摸到了門道，達到精通的水平。雖然他目前已經離開技術部門，但依然很感謝當初師父對自己的鍛煉。正是這樣的磨煉，中科科儀的員工才能屢次在中國科學院職工技能大賽中獲獎?！?0后”年輕人董博文雖然剛進入公司3年，也深刻感受到“精益求精”的工匠精神。他總結道：“在執(zhí)行任務時，不是只去簡單地完成指令，而是要主動思考每件事到底要做到什么程度、精度要達到什么標準，不能滿足于‘合格’，而是要追求‘更好’?！保ㄔd于《中國科學報》 2025-08-07 第1版 要聞）